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cmp如何调整间隙

cmp如何调整间隙

2019-12-07

一种摆式cmp的刀具间隙调整装置,由上刀和刀架构成,上刀设置在刀架的前端,刀架设置在cmp的机架内,刀架的后端设置有一个刀架轴,刀架轴上套设有偏心套,偏心套与一个偏心轮连接,偏心轮固定设置在一个扇形齿轮的端面中,扇形齿轮与一个调节齿轮啮合,调节齿轮通过齿轮轴设置在机架内。通过调节齿轮可以驱动扇形齿轮转动一个角度,扇形齿轮驱动偏心轮,进而改变偏心套的方位,偏心套带动刀架轴,从而可以调整刀架的位置,改变上刀的回转半径,当驱动机构带动刀架向下运动时,上刀和下刀之间的间隙随着上刀的回转半径改变。本实用新型解决了cmp中上刀和下刀之间间隙不易调整的难题,提高了cmp的生产效率和加工精度。

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